「マイクロ・ナノバブルによる洗浄技術の理論と実際」　　　※こちらのセミナーは終了致しました。

拝啓
時下ますますご清栄のこととお喜び申しあげます。
平素は当学会の活動に対するご理解、ご協力を賜り厚くお礼申し上げます。
さて、このたび当学会主催による「マイクロ・ナノバブルによる洗浄技術の理論と実際」を中心にセミナーを開催する運びとなりました。
同封いたします、セミナー開催ご案内状のとおり、今回はマイクロバブル・ナノバブル技術研究の第一人者であります、独立行政法人産業技術総合研究所主任研究員高橋正好工学博士による基調講演を中心に、茨城県工業技術センター先端技術部門研究員石川洋明工学博士を特別講師としてお迎えし、最先端の半導体洗浄技術について講演していただきます。
又、今回は特別に、「ナノバブル利活用協議会」に参加する各半導体関連企業よりマイクロバブル技術を利用した製品開発のご紹介とマイクロバブル発生ユニットの実機を使用した実演も行います。
是非ともこの機会に、ご多用とは存じますが、お繰り合わせの上、ご参加下さいますようお願い申し上げます。

敬具

　　　　　　　　　　　　　　　　平成２４年９月７日
（社）日本マイクロ・ナノバブル学会
代表理事　眞野　喜洋

第１回セミナー「マイクロ・ナノバブルによる洗浄技術の理論と実際」

開催日時：２０１２年９月２８日（金曜日）
受付開始１３時００分　開演１３時３０分　閉会１７時００分
開催会場：東京医科歯科大学湯島キャンパス　５号館４階講堂
東京都文京区湯島１－５－４５
受付場所：会場前ロビーにて承ります
参加費用：当学会会員（個人会員含）無料、一般参加　５,０００円

（セミナー概要）
広範な分野で応用が期待されているマイクロ・ナノバブル（超微小気泡）ですが、気泡消滅時における活性種　　（フリーラジカル）発生などを利用した水処理や洗浄技術への応用が実用化されつつあります。今回、戦略的基盤技術高度化支援事業（サポインプロジェクト：「マイクロナノバブルによる環境対応型半導体ウエハ洗浄装置の開発」）などの成果を中心に電子部品関連の最先端洗浄技術を紹介致します。

13:30 　（開会挨拶）
日本マイクロ・ナノバブル学会代表理事　東京医科歯科大学名誉教授　眞野　喜洋
13:50　　講演
基調講演
講　　師：独立行政法人　産業技術総合研究所　環境管理研究部門　主任研究員　工学博士　高橋　正好
演題：オゾンマイクロバブルを利用した最先端洗浄技術
講演１．
講　　師：茨城県工業技術センター　先端技術部門　研究員　工学博士　石川洋明
演題：マイクロ・ナノバブル技術を活用した半導体ウエハの洗浄技術開発
講演２．
講　　師　株式会社コンタクト　設計部　佐藤　等
演題：マイクロバブル用スプレーノズルと洗浄
実　　演　シグマテクノロジー有限会社　社長　橘　良昭
(休憩時)　実演内容：半導体洗浄用（メタルフリー）マイクロ・ナノバブル発生装置デモ
講演３．
講　　師　瀬戸技研工業株式会社　半導体事業部　技術開発部　課長　田寺　克己
演題：マイクロバブルによる半導体洗浄装置
17:00　　閉会

◇質疑応答については、講師・企業講演の終了後に行う予定となっております。
◇講演内容等は予告なく変更される場合がございます。
●セミナー参加申込要領
①セミナー参加のお手続き（お申込方法）
・HP（ mnsbc.jp）からの参加お申込はトップページのセミナー開催ご案内よりお手続きができます。
・FAX及びメールにてお申込の場合は、同封いたします参加申込書に必要事項記載の上、参加申込書の申込要領をご確認ください。

②セミナー参加費用のお支払い方法
・HP、FAX、メール、何れの場合も下記口座にお振込いただきたくお願い申し上げます。
口座：みずほ銀行　九段支店（５３２）　名義：一般社団法人　日本マイクロ・ナノバブル学会
普通預金口座　１５０１８５２
尚、当日会場受付にて現金でのお支払いも可能です。領収書を発行致します。

●会場案内図
現在、東京医科歯科大学正門より構内各所において工事を行っており、ご迷惑をおかけいたしております。

最　寄　駅：JR御茶ノ水駅、地下鉄御茶ノ水駅・新御茶ノ水駅（各駅から徒歩５～１０分程度）お車の利用：大変申し訳ございませんが、当日はセミナー専用駐車場の準備はございませんので、公共交通機関のご利用をお願い申し上げます。

セミナーに関する問い合わせ先
（社）日本マイクロ・ナノバブル学会事務局
担当：藤原
〒１１３－８５１９　東京都文京区湯島１－５－４５
FAX：０３－３８１３－６２９２　　e-mail:info@mnbsc.jp